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时间转眼就到了第二天。
测试结果非常喜人,昆仑集团的光学系统,包括最重要的物镜在内,一次就点亮了,并且成功流片。
但与此同时,这次实验也发现了不小的问题,中科光电院负责的光源,波长虽然达标,但却存在功率太低的问题,导致硅片曝光不够,即便用系统馈赠的光学系统和超级物镜,也没办法挽救。
“情况怎么样了?”
高原跑去睡了一觉,回到实验室打了个哈欠。
楚落落小脸煞白,这可怜的孩子,激动加担心,令她昨晚都没睡好,而高原就不同了,他不仅舒舒服服睡一觉,还顺便进入系统空间学习知识。
“还在调整光源,他们太拖后腿了,我看实在不行,就用咱们自己的光源吧!”楚落落心思单纯,也没有多想,当即说道。
高原蹙眉,看着实验室里,一群穿着白色防尘服的工程师,正在对光源发生器进行调试,整个测试也因此陷入停滞,大家都在等待。
看来他们的激光功率的确有问题,而且不像一时半刻能够解决的样子。
想到这里,高原走进了项目办公室。
由于是联合项目,各家老总都来了,所以办公室里人比较多,一个个都显得很疲惫。
“杜所长。”高原对长春光机所的杜维明说道:“这次我们带来了超紫外光源,实在不行,就先测试超紫外激光吧,光电所的深紫外放在后面测。”
高原带了光源,这件事他早就通报过的,在场的人都很清楚。
只是大家心里都有点疑惑,超紫外光源是个什么东西?以前没听说过啊!
光电所做的光源叫紫外,或者说深紫外激光,波长193nm,是目前全球应用最广泛的存在,从微米级芯片,一直到14nm芯片,都可以使用这种光源。
半导体代工巨头台积电,甚至用深紫外激光拿下了7nm工艺,令全球为之震撼,彻底打响了自己半导体领域第一天王山的名号。
所以中科光电所测试深紫外光源,高原一点意见都没有,这种光源虽然做不出顶级工艺,但胜在便宜啊,性价比高,并不是说高原拿出超紫外光源后,深紫外光源就不需要了。
合格的光刻机台,应该同时兼容好几种光源,好几种工艺,所以高原让中科光电所先测试深紫外光,打算等他们弄好了,再测试自己的超紫外。
谁知道光电所一整天下来,毫无进展,这让高原有点按捺不住了,提出让光电所的工程师休息一下,人有时候就是这样,越忙越忙,弄不好大家睡一觉,洗个热水澡,茅塞顿开,困难就解决了。
杜维明蹙眉道:“把光源发生器拆下来,再换上你们的,恐怕要大半天时间呢,要不再等等吧,光源又不是电灯泡,换来换去的很麻烦,而且每次拆装,精度还要再次校准。”
杜维明说的也是实话,光刻机又不是缝纫机,不能整天拆来拆去的,稍微一动,精度就要重新校准,很麻烦的。
高原来的时候,光电所的深紫外光源,就已经装在测试机台上了,否则高原一定会要求先测试自己的光源。
然而,这番对话让光电院的龚欣迎院长,脸色一阵红一阵白,有点坐不住了。
都是做科研的,龚院长虽然一向对昆仑集团敬佩有加,但这也太伤人了吧!
好像纯粹是因为太麻烦,才勉强让自己的光源留在机台上,要是拆装容易的话,早就把自己的光源拆下来扔了!
你们行?
那你们就上吧!
超紫外激光?
开什么玩笑呢!
难道还能比荷兰asml的极紫外更强!?
要知道,asml已经把波长干到了13.5nm,而传统深紫外光是193nm,两种光源之间,有着本质的差别!
我就不信了!
你们昆仑集团的这个什么超紫外光,也能做到13.5nm?
恐怕就是个名字而已吧!
昆仑集团向来热衷宣传,给自己的产品和技术,起一些匪夷所思的古怪名字。
明明是固态电池,却叫昆仑晶石。
明明是复合碳纤维,却叫昆仑暗星。
最离谱就是机械外骨骼,居然叫原子蚂蚁?
你们以为自己是谁?
漫威里的超级英雄蚁人吗?
龚院长阴沉着脸,一瞬间诸多想法涌入大脑。
倒不是说针对高原,做科研的谁还没有点怪脾气?自己这边实验还没做完呢,高原就急着把自己替下来,实在很让他没有面子。
“杜所长,既然高老板有更先进的光源,那就把我们的撤下来,换他们上吧。”龚院长皱眉,沉声说道。
“不急不急,两种光源都要测,还是先搞完你们的吧。”杜维明看龚院长脸色不好,于是急忙打圆场道。
“没关系,咱们搞科研的,向来是谁有本事谁上,我这就让人动手,把光源拆下去。”
龚院长不由分说,从办公室离开,吩咐手下拆激光发生器。
这些光电院的工程师们一阵惊愕,还没测试完呢,怎么就拆了呢?
听说是给昆仑集团让路,工程师们顿时没了脾气,谁让人家本事大,光学系统做的漂亮呢,那套物镜的精度,据说在一纳米之下,简直堪称完美。
尽管如此,光电院的工程师们心里还是有点不服气,毕竟光学做得好,不代表激光也能搞定。
当时间来到晚上,深紫外激光发射器已经被拆掉了,换成了高原带来的超紫外激光发射器,工程师们好不辛苦,用了整整一个白天,才完成光源的更换和校准。
哎~
辛苦一点倒是没什么,就盼望着能有好结果吧。
超紫外?
名字倒是够拉风,就是不知道波长多少,功率又是多少?
荷兰asml已经把这两个最关键的参数,做到了世所罕见的程度,才13.5nm的波长,功率更是达到了250w,用来曝光硅晶圆,效率简直不要太夸张。
要是昆仑集团能用荷兰asml一半的水准,就谢天谢地喽。
砰~
随着一道激光爆射而出,机台再次点亮,过程非常顺利。
片刻后,身穿白色防尘服的工程师,颤颤巍巍的双手捧起十二寸硅晶圆,放在灯光下端详。
无数玄奥繁杂的线条,宛如世界上最美妙的艺术品,令人心驰神往。
“又是一次点亮!?”
“这运气也太好了吧!”
“波长多少?功率又是多少?”
“不清楚,具体参数在控制室里,不过我看晶圆曝光的程度,似乎远远好于之前。”
围观众人议论纷纷,与此同时,从控制室里传来一阵喧嚣,仿佛有野兽钻进了控制室,搞的里面一片鸡飞狗跳。
“什么情况!?”
“他们似乎很高兴的样子?”
“或许参数比较不错,所以他们才比较激动吧。”
外面的众人不明所以,纷纷用好奇的眼神看向控制室。
片刻后,带着眼镜的工程师推门走出,他将一张写着参数的表格高高举起,宛如举起胜利的奖杯。
“波长1.5nm!”
“功率整整2000w!”眼镜工程师双目通红,声嘶力竭吼道:“昆仑集团!牛逼!!!”